திருமூலர் ஆதி சித்தராக அறியப்பட , அக்திஸ்தியர் , குதம்பைச் சித்தர் , பாம்பாட்டிச் சித்தர் , அழுணிச்சித்தர் , போகர் , கடுவெளிச் சித்தர் என்போர் புகழ்மிக்கவர். சமயம் , தவம் , ஞானம் , யோகம் , இறை , பக்தி பற்றி இவர்கள் பாடின பொருட்சிறப்பு மிக்கன. சைவ சித்தாந்தம் தேவாரப் பாடல்கள் தோத்திரப் பாடல்களாக விளங்க , கி.பி.12 , 13 , 14 ஆம் நூற்றாண்டுளில் தோன்றிய சாத்திரங்கள் சைவத்த விளக்க எழுந்தவை. அவைகள் : திருவுந்தியார் சிவஞானபேதம் சிவஞான சித்தியார் சிவப்பிரகாசம் உண்மை விளக்கம் தஞ்சை கோவை உரையாசிரியர்கள் கடந்தார் பொய்யா