En utvidgning av processmodellering språk är utformad som gör det möjligt att representera semantik av modellelement etiketter som är formulerade i naturligt språk genom att använda begrepp av en formell ontologi. Denna kombination av semiformella modeller med formella ontologier kommer att karakteriseras som semantisk processmodellering. Metoden tillämpas exemplifierat på språken EPC (Event-driven processkedja), BPMN (Business Process Modelling Notation) och OWL (Web Ontology Language) och generaliseras med hjälp av en informationsmodell. Den föreslagna formaliseringen av semantiken för enskilda modellelement i samband med användningen av inferencemotorer möjliggör förbättring av frågefunktioner i modelleringsverktyg och möjliggör nya möjligheter till modellvalidering. Integreringen av strategin i modellernas IT-baserade arbetsmiljöer visas av en systemarkitektur och ett prototypiskt genomförande. Det är uppenbart att fördelar inom områdena modellering, modellhantering, anpassning av IT-företag och efterlevnad kan uppnås genom tillämpning av modelleringsverktyg som utökas med semantisk teknik.
Med ett snävare tillämpningsområde föreslår REF "semantisk modellering av affärsprocesser" genom att berika processmodeller med process ontologier för att kompensera för vagheten i de naturliga språketiketter som används i modeller.