För att förbättra avvägningen mellan känsligheten och resonansfrekvensen hos piezoresitiva accelerometrar beaktas i detta dokument beroendet mellan stressen hos piezoresistorn och förskjutningen av strukturen. För att försvaga beroendet är en ny struktur med upphängda piezoresistiva balkar (SPB) utformad, och en teoretisk modell upprättas för att beräkna SPB:s placering, stressen hos SPB:er och resonansfrekvensen hos hela strukturen. Finita elementmetoden (FEM) simuleringar, jämförande simuleringar och experiment utförs för att verifiera det goda samförståndet med den teoretiska modellen. Det visas att öka känsligheten kraftigt utan att offra resonansfrekvensen är möjligt i piezoresitiv accelerometer design. Därför är den föreslagna strukturen med SPB potentiellt ett nytt alternativ för att förbättra avvägningen mellan känsligheten och resonansfrekvensen hos piezoresistiva accelerometrar.
Xu och al. I REF föreslås en struktur med SPB för att förbättra avvägningen mellan känsligheten och resonansfrekvensen för piezoresistiv accelerometer.
A Novel Piezoresistive Accelerometer with SPBs to Improve the Tradeoff between the Sensitivity and the Resonant Frequency