Det automatiserade materialhanteringssystemet (AMHS) kan bli en kritisk faktor som begränsar kapaciteten hos 12-wafer-lot-system. I detta dokument studeras AMHS produktivitetsdetraktorer som påverkar tillverkning av små partier, inklusive spårlayout, antal fordon, regler för hantering av tomma fordon, antal lager, lagerkapacitet, bland annat. Länkade simuleringsmodeller utvecklades för 12-wafer-lot och 25-wafer-lot system, med hjälp av AutoSched AP för att simulera wafer bearbetning och AutoMod för att simulera AMHS. De AMHS produktivitetsdetraktorer som studerades varierade för experimentella ändamål, och varje scenario analyserades kvantitativt. Förändringar i fabrikslogistiken för 25-wafer-lot AMHS ledde till utvecklingen av 12-wafer-lot AMHS, vilket resulterade i mindre trängsel kring höggenomströmningsområden och snabbare AMHS leveranshastigheter. Simuleringsresultaten visade förbättrad AMHS-prestanda trots den betydande ökningen av antalet waferrörelser per timme som orsakas av 12-wafer-lot tillverkning. Övergången av halvledare wafer tillverkningsanläggningar (fabs) till små partier tillverkning (SLM) är nästa steg i den kontinuerliga förbättringen av chip tillverkning. Wafers för närvarande bearbetas och flyttas i massor av 25 plattor per bärare, men SLM kommer att använda bärare med 12 plattor eller mindre. Flera studier har visat att denna avfallsminskningslösning i slutändan kommer att förbättra den totala produktionseffektiviteten och därmed förbättra wafercykeln (Bass och Wright 2008). Vid tillverkningen av 12 Wafer-lot kommer transport- och lagringskraven för det automatiserade materialhanteringssystemet (AMHS) att fördubblas i förhållande till kraven för 25-wafer-lot tillverkning. Pillai (2006) föreslog att höghastighets-, lågvariabilitet AMHS kommer att behövas för att möjliggöra 12-wafer-lot system. AMHS är dock för närvarande en produktivitetsdämpare för små partier eftersom befintlig transportteknik ger leveranshastigheter som är för låga för att bibehålla de ökade rörelsekraven. AMHS har också ett stort beroende av centraliserade lagringssystem, vilket leder till onödiga trafikstockningar och ökar AMHS-ineffektiviteten. Med detta i åtanke är syftet med detta dokument att konfigurera AMHS-faktorer som begränsar kapaciteten hos 12-wafer-lot system, försöker optimera fab logistik och minimera trafikstockningar runt hög-genomströmning områden i fab. För att uppnå detta ändamål utvecklades länkade simuleringsmodeller av en virtuell 300mm fab i AutoSched AP och AutoMod. Dessa modeller studerar på en högre nivå av de-2575 978-4244-9864-2/10/$26.00 ©2010 IEEE
REF använde integrerade modeller för att utvärdera inverkan av Small Lot Manufacturing (SML) och för att testa förändringar i fabrikslogiken.
AMHS factors enabling small wafer lot manufacturing in semiconductor wafer fabs
{'venue': "WSC '10", 'journal': None, 'mag_field_of_study': ['Computer Science']}