Abstract-This paper handlar om att bedöma den inverkan som schemaläggning kan ha på prestanda halvledare wafer fabricering anläggningar. Den prestandamått som beaktas här är den genomsnittliga genomströmningstiden (ibland kallad cykeltid, vändningstid eller tillverkningsintervall) för en hel del plattor. En mängd regler för indatakontroll och sekvensering utvärderas med hjälp av en simuleringsmodell av en representativ men fiktiv halvledare wafer fab. Vissa av dessa schemaläggningsregler härleds genom att begränsa uppmärksamheten till den delmängd av stationer som är kraftigt utnyttjade, och med hjälp av en Brownsk nätverksmodell, som approximerar en flerklassig könätverksmodell med dynamisk kontrollkapacitet. Tre versioner av wafer fab modellen studeras, som skiljer sig endast med antalet servrar som finns på vissa stationer. De tre versionerna har en, två och fyra stationer, respektive, som är kraftigt utnyttjade (nära 90-procent utnyttjande). Simuleringsresultaten visar att schemaläggningen har en betydande inverkan på genomsnittlig genomströmningstid, med större förbättringar som härrör från diskretionär indatakontroll än från partisekvensering. De effekter som specifika sekvenseringsregler har beror i hög grad på både vilken typ av inmatningskontroll som används och antalet flaskhalsstationer i fab.
Tekniker som används för jobb schemaläggning har en betydande inverkan på prestanda halvledare wafer fabricering REF.
Scheduling semiconductor wafer fabrication
{'venue': None, 'journal': 'IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing', 'mag_field_of_study': ['Engineering']}