ෂයපරිලෝකන ඉලෙක්ට්‍රොනික අන්වීක්ෂයඉලෙක්ට්‍රොනික අන්වීක්ෂයසුපිරි විහේදන බලයක් සහිත අන්වීක්ෂයඅණුක නැනෝ තාක්ෂනයඅණුක ක්‍රියාකාරිත්වයනැනෝ රොබෝවරුයාන්ත්‍රික සංශ්ලේෂණයvteනැනෝ ඉංජිනේරු විද්‍යාවනැනෝඉංජිනේරුවිද්‍යාව යනු ඉංජිනේරුවිද්‍යාවේ නැනෝ පරිමාණයේ යෙදීමයි. එහි නාමය සෑදී ඇත්තේ නැනෝමීටර යන, මීටරයකින් බිලියනයකින් එකකට සමාන වන මිනුම් ඒකකය ආශ්‍රයෙනි.නැනෝඉංජිනේරුවිද්‍යාව, නැනෝතාක්ෂණය හා ඉතා සමීප සම්බන්ධතාවක් පවතී.ක්‍රමවේදයන්•	ගල්වල කැටයම් කර මුද්‍රණය කිරීම(Photolithography)ආලෝකය භාවිතා කර රසායනික ද්‍රව්‍යවල මෝස්තර සෑදීම හා ඉන්පසු  පෘෂ්ඨය නිරාවරණය කරගැනීම සඳහා නිරේඛණය(etching) කිරීම.•	ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්බයක් ආධාරයෙන් ගල්වල කැටයම් කර මුද්‍රණය කිරීම(Electron beam lithography)මෙය Photolithography වලට බොහෝ සෙයින් සමාන වන අතර මෙහිදී ආලෝකය වෙනුවට  ඉලෙක්ට්‍රෝන කදම්බයක් යොදාගනී.•	Scanning tunneling microscope (STM)මෙය අනුරූපනය කිරීම හා පරමාණුවක් වැනි  ඉතා කුඩා ව්‍යුහයන් මෙහෙයවීම සඳහා යොදා ගත හැක.•	අණු ස්වයං-බන්ධනය(Molecular self-assembly)අභිමත DNA අනුපිළිවෙලවල් විශාල ලෙස අඩු වියදමකින් සංස්