پلاسما توسط یک تخلیه RF بین دو الکترود موازی با قطر 100 میلی متر و درز 40 میلی متر و با استفاده از گاز سیلان خالص ساخته شد .
پلاسما
تخلیه
<e1>پلاسما </e1>توسط یک <e2>تخلیه </e2>RF بین دو الکترود موازی با قطر 100 میلی متر و درز 40 میلی متر و با استفاده از گاز سیلان خالص ساخته شد .